4.2 Генерация рентгеновского излучения

Сначала мы рассмотрим генерацию рентгеновского излучения, потому что это самый важный из вторичных сигналов, генерируемых в образце. С помощью рентгеновских лучей, мы можем быстро выяснить, из каких элементов состоит образец или его часть, взаимодействующая с электронным пучком, и мы можем также определить количество каждого элемента. При взаимодействии электронного пучка с образцом возникают два вида рентгеновского излучения:

  • характеристическое рентгеновское излучение, благодаря которому возможна идентификация химических элементов образца.
  • тормозное рентгеновское излучение, которое являются полезными для биологов, но в целом рассматривается как помеха для большинства материаловедов.