4.3 Эмиссия вторичных электронов

• | Печать |

Вторичными электронами (ВЭ) являются электроны находящиеся внутри образца, и выбитые из образца электронным пучком.

Если электроны находятся в зоне проводимости или валентной зоне, то не требуется много энергии для их извлечения, и они обычно имеют энергию <∼50 эВ.

Если электроны вылетают из внутренней оболочки из-за энергии, выделяющейся при возвращении ионизированного атома в основное состояние, то эти ВЭ называются Оже-электронами. Этот процесс часто называют безизлучательным переходом и энергия испытывает «внутреннюю конверсию».

Исторически сложилось так, что ВЭ, как правило, рассматриваются только в СЭМ, где они используются для формирования (часто потрясающих) изображений, которые являются чувствительными к топологии поверхности.