8.2 Форвакуумный насос
Наиболее распространенными из форвакуумных насосов являются механические (ротационные) насосы, в которых с помощью ременной передачи, эксцентрично установленный возвратно-поступательный механизм всасывает воздух через впускной клапан в камеру и выводит его через выпускной клапан, как показано на рисунке 8.1.
Такие насосы очень надежные и относительно недорогие, однако, достаточно шумные и грязные, и способны давать давление не ниже 10-1 Па (10-3 мм.рт.ст.). Механические насосы должны быть размещены за пределами комнаты, в которой установлен ПЭМ, и подключены к колонне через трубки, которые не передают его вибрации. В этих насосах используется углеводородные масла. Если у вас есть такой насос, трубки от насоса к вакуумируемому пространству должны содержать предварительный ловушки для конденсации паров масла перед тем как оно попадет в колонну. Кроме того, выпускные трубки должны иметь ловушки-фильтры, для предотвращения попадания паров (возможно, канцерогенных) масла в рабочую комнату. Существуют альтернативные "сухие" форвакуумные насосы, которые не используют масло. Однако они являются более дорогими и несколько менее надежны, и не способны откачать до такого же низкого давления.
Рисунок 8.1 Механический насос для предварительного вакуума. Эксцентричное движение насоса создает вакуум в правой стороне, когда он поворачивается, в вакуум всасывается воздух через впускной клапан. Так как цилиндр вращается дальше, он отсекает впускное отверстие и направляет воздух через выпускное отверстие слева, создавая снова вакуум на входном отверстии. Из-за постоянного контакта между вращающимися цилиндрами и внутренностями насоса, масло, необходимо для снижения трения и нагрева трущихся частей.