8.3.4 Криогенные (адсорбционные) насосы
Как следует из названия, криогенные насосы (крионасосы) работают на жидком азоте, который охлаждает молекулярные фильтры с большой площадью поверхности. Холодные поверхности эффективно удаляют молекулы воздуха начиная от атмосферного давления до 10-4 Па (10-6мм.рт.ст). Т.к. они не содержат масла, крионасосы также используется для предварительной дегазации ионных насосов и предотвращения их случайное загрязнение путем обратного натекания из маслосодержащих насосов.
Холодные поверхности также используются для улучшения вакуума в предметном столике ПЭМ в большинстве не высоковакуумных микроскопов. Такие "противозагрязняющие устройства" обеспечивают место для преимущественной конденсации остаточных газов и паров в вакууме. Остаточные газы и пары осаждаются на холодных поверхностях, а не на образце.