9.4.4 Увеличение в СПЭМ
Все СПЕМ изображения, которые мы только что описали появляются на экране компьютера с каким-либо увеличением, которое контролируется размером сканируемого участка на образце, а не линзами ПЭМ. Это фундаментальное различие между растровым и статическим изображениями. Так как изображения полученные сканированием не увеличивается линзами, то на них не влияют аберрации линз системы формирования изображения.
Рисунок 9.19 Получение СПЭМ изображения: КСП детектор находится в сопряженной плоскости с задней фокальной плоскостью для захватывающий прямой пучок (А) и кольцевой темнопольный детектор захватывающий дифрагированные электроны, распределение которых показано как кольцевая дифракция из выбранной области (B).Сигналы от любого детектора усиливаются и модулируются СПЭМ дисплеем компьютера. Образец (островки Au на C пленке) показаны в КТП (C) и СП (D) изображениях.
Однако, на них влияют аберраций, от которых зависит размер самого зонда, т.е. аберации системы освещения. Поэтому СПЭМ изображения могут быть улучшены путем введения корректоров аберраций в осветительную систему.
Если область сканирования на образце составляет 10 мм х 10 мм, а результирующее изображение отображается на экране компьютера, с площадью 100 мм х 100 мм, то увеличение изображения составит x10 раз. Если размер сканирования уменьшается до 1 мм, увеличение на том же экране x100 раз, и так далее, вплоть до увеличений свыше x107, которые являются обыкновенными в специализированных СПЭМ. Как и в ПЭМ, нам необходимо калибровать увеличения в СПЭМ и длину камеры, которую мы используем для получения изображений.