1.4 Различные виды ПЭМ

Как было сказано выше, что ПЭМ может проявляться в самых разнообразных типах: ВРПЭМ, ВВПЭМ, ППЭМ, СПЭМ и АЭМ. Однако, современные 200 или 300 кэВ ПЭМ могут объединять аспекты всех перечисленных выше типов микроскопии. Рисунок 1.9 показывает несколько различных видов ПЭМ, которые мы уже упоминали. Поучительно рассмотреть некоторые особенности инструментов, которые показаны здесь. ВВПЭМ обычно требует две или три комнаты, оператор стоящий рядом показывает масштаб этого инструмента. Современная машина, по сути, является электронно-оптической колонной, в которой мы можем поддерживать хороший вакуум, а линзами и большинством других функций можно управлять с помощью одного или нескольких компьютеров. Обратите внимание, что цифровые СПЭМ имеют только плоский дисплей: у них нет (внутреннего) экрана для просмотра. Этот аспект становится все более популярной особенностью в конструкции ПЭМ, потому что, если в микроскопе нет экрана, то и оператор не обязан находиться в том помещении или в здании или даже в стране, где установлен микроскоп. Удаленное управление оператора от ПЭМ преодолевает многие факторы, которые ограничивают производительность лучших инструментов. Удаленная работа становится все более привлекательной особенностью, которая даст еще многим исследователям доступ к наиболее сложным ПЭМ, как это уже происходит в мире астрономии с крупнейшими телескопами.

А) Б)
В) Г)
Д) Е)
Рисунок 1.9 - Различные коммерческие ПЭМ: (А) JEM 1,25 МэВ ВВЭМ. Обратите внимание на размер инструмента, часто высоковольтный бак располагается в другой комнате над колонной. (Б) Zeiss ВРПЭМ с Cs корректором и энергетическим фильтром в колоне. Обратите внимание на большую раму, необходимую для обеспечения высокой механической стабильности для получения высокого разрешения. (В) Hitachi 200 кэВ выделенный СПЕМ микроскоп; обратите внимание на отсутствие камеры для просмотра. Такие инструменты часто предназначены для анализа причин брака для производителей полупроводниковых устройств. Образцы, утоненные из пластин на производственной линии, могут быть легко транспортированы и изучены. (Г) JEOL 200 кэВ ПЭМ/СПЭМ; хотелось бы отметить также на отсутствие камеры для просмотра. (Д) Nion 200 кэВ сверхвысоковакуумный SuperСПЭМ; только для американского производства (Е) ПЭМ и действующий обладатель лучшего в мире разрешения изображения на сегодняшний день (Ж) FEI Titan.