Базовый курс по ПЭМ

1. Введение в просвечивающую электронную микроскопию

  • 1.1 Какие материалы изучаются в ПЭМ?
  • 1.2 Почему мы используем электроны?
  • 1.3 Ограничения метода ПЭМ
  • 1.4 Различные виды ПЭМ
  • 1.5 Некоторые фундаментальные свойства электрона


    • 2. Рассеяние и дифракция

  • 2.1 Почему мы заинтересованы в рассеянии электронов?
  • 2.2 Терминология рассеяния и дифракции
  • 2.3 Угол рассеяния
  • 2.4 Сечение взаимодействия и дифференциальное сечение
  • 2.5 Длина свободного пробега
  • 2.6 Как мы используем рассеяние в ПЭМ
  • 2.7 Сравнение с дифракцией рентгеновских лучей
  • 2.8 Дифракция Фраунгофера и Френеля
  • 2.9 Дифракция света на щелях и отверстиях
  • 2.10 Интерференция
  • 2.11 Несколько слов об углах в ПЭМ
  • 2.12 Электронная дифракция


    • 3. Упругое рассеяние

  • 3.1 Частицы и волны
  • 3.2 Механизм упругого рассеяния
  • 3.3 Упругое рассеяние изолированным атомом
  • 3.4 Резерфордовское сечение рассеяния
  • 3.5 Модифицированное Резерфордовское сечение
  • 3.6 Когерентность Резерфордовских рассеянных электронов
  • 3.7 Фактор атомного рассеяния
  • 3.8 Происхождение F(θ)
  • 3.9 Структурный фактор f(θ)
  • 3.10 Концепция дифракции



    • 4. Неупругое рассеяние и повреждения, наносимые пучком

  • 4.1 Какие неупругие процессы происходят в ПЭМ?
  • 4.2 Генерация рентгеновского излучения
  • 4.3 Эмиссия вторичных электронов
  • 4.4 Электрон-дырочные пары и катодолюминесценция (КЛ)
  • 4.5 Плазмоны и фононы
  • 4.6 Повреждения, наносимые электронным пучком


    • 5. Источники электронов

  • 5.1 Физика различных источников электронов
  • 5.2 Характеристики электронного пучка
  • 5.3 Электронная пушка
  • 5.4 Сравнение различных пушек


    • 6. Линзы, апертуры и разрешения

  • 6.1 Введение
  • 6.2 Световая оптика и электронная оптика
  • 6.3 Электромагнитные линзы
  • 6.4 Апертуры и диафрагмы
  • 6.5 Реальные линзы и их абберации
  • 6.6 Разрешение электронных линз
  • 6.7 Глубина фокуса и глубина поля



    • 7. Обнаружение и детектирование электронов

  • 7.1 Введение
  • 7.2 Люминесцентный экран
  • 7.3 Детекторы электронов


    • 8. Вакуумные насосы и держатели образца

  • 8.1 Вакуум в ПЭМ
  • 8.2 Форвакуумный насос
  • 8.3 Высоковакуумные и сверхвысоковакуумные насосы
  • 8.4 Вакуумная система в целом
  • 8.5 Держатели образца и предметные столики
  • 8.6 Боковые держатели
  • 8.7 Держатели верхней загрузки
  • 8.8 Держатели для наклона и поворота образца
  • 8.9 Другие держатели



    • 9. Микроскоп

  • 9.1 Осветительная система
  • 9.2 Объективная линза и предметный столик
  • 9.3 Формирование дифракционной картины и изображения
  • 9.4 Формирование дифракционной картины и изображения используя СПЭМ
  • 9.5 Настройка и стигмирование
  • 9.6 Калибровка системы формирования изображения
  • 9.7 Другие калибровки