Структура лекции
- Профилактические и регламентные работы
- Повседневный уход: юстировка пушки
- Обслуживание: замена
катода и чистка Венельта, замена масла, замена диафрагмы объективной линзы.
Профилактические и регламентные работы.
- поддержание оборудования и помещения, в котором оно установлено, в чистоте; контроль рабочей температуры
- контроль состояния охлаждающей жидкости (воды) при использовании охладителя, своевременная ее замена
Повседневный уход: юстировка пушки
Для юстировки используется проводящий образец либо держатель образца. Он помещается в микроскоп.
Установить необходимое для образца ускоряющее напряжение
Во вкладке обслуживание (Maintenance ) выбрать Filament Adjustment (Юстировка катода)
Рисунок 111 – Вкладка панели управления микроскопа
Установить ползунок тока накала катода в области Heating Adjustment слева перед оранжевой областью
Установить размер пятна SS =30, увеличение х30-х300, двигая ползунки Tilt X , Y Shift X , Y и используя функцию ACB добиться максимальной яркости изображения
Временно переместить ползунок тока накала в крайнее левое положение
Медленно перемещая ползунок накала катода вправо, получить осветление изображения (первый пик) т. А (рисунок 112)
Рисунок 112 – Зависимость тока зонда от температуры катода
При дальнейшем перемещении ползунка вправо проявляется изображение, ток накала (L .C .) насыщается, яркость изображения не изменяется. (второй пик - точка насыщения) т. S (рисунок)
По достижении точки насыщения слегка вернуть ползунок влево для продления срока службы катода.
Выбрав малый объект на изображении, сфокусировать изображение в увеличении х10000
Включить Осциллятор (Wobbler ) в меню Tools (Инструменты).
Вращая ручки диафрагмы объективной линзы (рисунок 113), максимально уменьшить смещение изображения, добиться его равномерного пульсирования.
Рисунок 113 – Перемещение микровинтами положения диафрагмы объективной линзы
Увеличить размер пятна SS =90, увеличение х30-х300. Яркость и контрастность контролируется кнопкой ACB .
Максимально осветлить изображение с помощью Shift X , Y
Размер пятна SS =30. Максимально осветлить изображения с помощью Tilt X , Y .
Повторять шаги, начиная с п. 10 несколько раз.
Обслуживание: замена катода и чистка Венельта, замена масла, замена диафрагмы объективной линзы.
Замена катода и чистка цилиндра Венельта
Перед заменой катода необходимо дать ему остыть в течение часа.
Во вкладке обслуживание (Maintenance ) выбрать Замена катода (Filament Exchange) (рисунок 114)
Рисунок – Вкладка обслуживание панели управления микроскопом
В пошаговом меню выбрать п.1 - Напуск воздуха в пушку (Vent the electron gun )
Снять верх колонны микроскопа, освободив доступ к электронной пушке (рисунок 115)
Рисунок 115 – Верх колонны микроскопа со снятым кожухом
Открыть электронную пушку, извлечь Венельт с помощью устройства извлечения Венельта (рисунок 116)
Рисунок 116 – Открытая электромагнитная пушка
Закрыть электронную пушку. Разобрать Венельт, почистить, собрать (рисунок 117). Состояние катода может быть различным (рисунок 118). Чистку цилиндра Венельта проводить чистящими пастами, промывку этиловым спиртом либо эфиром, центровку катода относительно цилиндра Венельта контролировать с помощью оптического микроскопа.
Рисунок 117 – Разборка цилиндра Венельта
Рисунок 118 – Состояние поверхности катода
Установить собранный цилиндр Венельта в пушку (рисунок 119)
Рисунок 120 – Установка Венельта в пушку
Во вкладке обслуживание запустить откачку в электронной пушке (Evacuate the electron gun )
Установить кожух на электронную пушку
По окончании откачки включить пучок, провести юстировку пушки
Замена масла в ротационном насосе
В процессе эксплуатации ротационного насоса уровень масла должен находиться между верхним и нижним пределами (рисунок 121). В масле должны отсутствовать загрязнения и окрашивания. Замену масла в ротационном насосе рекомендуется делать раз в 1 год, в то время, как в диффузионном насосе рекомендуется это делать раз в 3-5 лет. Старое масло сливается, затем используется промывочное и в конце заливается новое, при этом заменяется и маслоулавливающий фильтр.
Рисунок 121 – Ротационный насос
Замена диафрагмы объективной линзы
Установить ручку выбора размера диафрагмы в положение 0
Во вкладке обслуживание (Maintenance ) выбрать OL aperture Exchange (рисунок 122)
Рисунок 122 – Юстировка диафрагмы объективной линзы
Напустить воздух в оптическую колонну (Vent the EOS )
Извлечь диафрагму объективной линзы (рисунок 123)
Рисунок 123 – Схема извлечения диафрагмы объективной линзы
Нажать на пластину крепления диафрагмы, извлечь фольгу с диафрагмами (рисунок 124)
Рисунок 124 – Замена диафрагмы
Установить фольгу с диафрагмами. Собрать в обратной последовательности
Провести юстировку диафрагмы объективной линзы`