Страница 4 из 4
В систему микроанализа входят следующие составляющие: растровый электронный микроскоп (РЭМ), приставки для регистрации квантов рентгеновского излучения, программное обеспечение для построения и анализа спектров, проведения качественного и количественного рентгеновского микроанализа. Существуют по, несколько производители каждой составляющей: так наиболее известные РЭМ – это JEOL, FEI, Hitachi, CarlZeiss, приставки и ПО – Oxford, EDAX, Bruker (рисунок 3).
Рисунок 3 – Производители и разработчики оборудования для микроанализа
