Метод трех поправок в микрозондовом анализе: фактор поглощения. Так как рентгеновское излучение, генерируемое электронным пучком, возникает на некоторой отличной от нуля глубине в образце, на пути к детектору оно должно пройти определенный путь в образце (рисунок 49) . На этом пути часть рентгеновского излучения претерпевает поглощение из–за взаимодействия с атомами различных элементов в образце.
Поэтому интенсивность рентгеновского излучения, достигающего детектора, уменьшается по величине (рисунок 50):
,
где
μ=f(Z),
x=z*cosec(ψ),
ρz – массовая глубина,
μ – коэффициент поглощения
Рисунок 49 – Путь рентгеновского излучения в образце
Рисунок 50 – Изменение интенсивности рентгеновского излучения с глубиной для разных HV и ρ
Поправка учитывает различие в поглощении характеристического излучения i–го элемента образцом и эталоном, содержащим 100% i–го элемента. Абсорбционная поправка – обычно наибольшая из трех поправок в методе ZAF. Точность ее определения существенно влияет на достоверность данных микроанализа.
Фактор поглощения f(x)любого элемента зависит от массового коэффициента μ/ρ, угла выхода рентгеновского излучения ψ, энергии электронного пучка Eo, критической линии возбуждения K–,L–,M– линий элемента, среднего атомного номера Zср, среднего атомного веса образца Aср:
f(x) = [1+(χ/Ϭ)]{1+[h/(1+h)](χ/Ϭ)}, где h=1,24*A/(Z2), Ϭ=4,5*105/(Eo1,65–Eкр1,65)
