Страница 15 из 18
Пространственное разрешение в р.и.
Пучок электронов, падающий перпендикулярно поверхности образца (рисунок 15), обуславливает максимальную ширину области взаимодействия (объема генерации р.и.). При проецировании этой области на поверхность образца ее размер получается примерно равным пространственному разрешению (то есть пространственное разрешение – проекция максимального диаметра области генерации рентгеновского излучения на поверхность образца (Lx)). С ростом Атомного номера (Z), плотности материала образца увеличивается Lx.
Рисунок 15 – Зависимость пространственного разрешения в рентгеновских лучах в зависимости от плотности материала образца (3 г/см3 (Al) и 10 г/см3 (Cu))
