Распределение р.и. по глубине образца
Распределение р.и. по глубине образца не является равномерным.
Плотность генерации р.и. на единицу объема связана с числом и длиной электронных траекторий на единицу объема и средним перенапряжением U. Генерация р.и. по глубине известна как функция Φ(ρz).
Образец разделяется на слои равной толщины. По мере прохождения падающим пучком этих слоев длина траектории в каждом следующем слое возрастает из–за того, что:
за счет упругого рассеяния электроны отклоняются от движения по нормали, что приводит к увеличению пути через слой;
отражение приводит к тому, что электроны пересекают слой в противоположном направлении.
Таким образом, генерация р.и. проходит через максимум на некоторой глубине, а затем уменьшается, так как потеря энергии и отражение уменьшают число электронов с движением внутрь объекта (рисунок 16). Следовательно, плотность р.и. существенно меняется с глубиной.
Рисунок 16 – Распределение р.и. по глубине
Глубина генерации р.и. является критически важным параметром при оценке размера области выхода излучения для анализа.
