НИТУ 'МИСиС' Минобрнауки РФ TOKYO BOEKI База данных по материаловедению. Материалы XXI века
База данных по материаловедению. Материалы XXI века

Лабораторная работа № 1. Включение и выключение микроскопа. Загрузка и выгрузка образца

В лабораторной работе используется просвечивающий электронный микроскоп JEOL JEM1400 в аналитической конфигурации. Электронная пушка микроскопа позволяет использовать в качестве катода W или LaB6. Вакуумная система микроскопа состоит из двух паромыслянных насосов и одного форвакуумного насоса, с промежуточной камерой между ними.

Особенности JEM 1400:

Возможность получения как традиционного ПЭМ изображения так и СПЭМ изображения с увеличением от х5 до х100 000 и пространственным разрешением до 3 нм ;
Работа при ускоряющих напряжениях от 10 кВ до 120 кВ;
Разрешение по точкам: 3.8 Å
Прямое увеличение до 1.2 млн. раз
Диаметр электронного пучка: до 50 нм
Цифровое отображение положения образца (движения по осям X, Y, Z и наклон по осям X, Y)
Графическое отображение положения образца (движение по осям X, Y) - мишень
Память данных позиций образца (запоминание/восстановление любых 100 точек)

ЗАПУСК И ОСТАНОВКА ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА

Запуск устройства

Впервую очередь, прежде чем начать запуск устройства, необходимо проверить, что подача воды (охлаждение линз и паромаслянного насоса) включена.

Нажмите кнопку “I” на операционной панели и удерживайте в течении нескольких секунд.

Включите компьютер и зайдите под пользователем JEM User.

Включите «TEM Center»

Начнется откачка воздуха из колонны микроскопа.

Нажмите «VIew» в «TEM Center». Выберете «Valve/Vacuum Monitor». Убедитесь, что все индикаторы, исключая «Specimen Chamber» показывают «Evac Ready».

Проверьте клапаны V1 и V2 в «Valve/Vacuum Monitor» должны отображаться зеленым цветом, как на рисунке 3.

Включите питание линз, повернув тумблер «Lens» на операционной панели.

Включите ускоряющее напряжение на 0 кВ нажав кнопку «HT Voltage ON»

Постепенно поднимайте ускоряющее напряжение до рабочего уровня.

2.2 Отключение устройства

1. Выключите подачу ускоряющего напряжения нажав «HT Voltage OFF»
2. Выключите компьютер
3. Выключите подачу питания на линзы повернув тумблер «Lens» на операционной панели в положение “OFF”
4. Нажмите «О (Power off)» на операционной панели и дождитесь пока микроскоп полностью оставится
5. После полной остановки микроскопа (15-20 мин) можно выключить подачу воды.