8.3 Высоковакуумные и сверхвысоковакуумные насосы

8.3 Высоковакуумные и сверхвысоковакуумные насосы

8.3.1 Паромасляные насосы

8.3.2 Турбомолекулярный насос

8.3.3 Ионные насосы

8.3.4 Криогенные (адсорбционные) насосы