8.3 Высоковакуумные и сверхвысоковакуумные насосы
8.3 Высоковакуумные и сверхвысоковакуумные насосы
8.3.1 Паромасляные насосы
8.3.2 Турбомолекулярный насос
8.3.3 Ионные насосы
8.3.4 Криогенные (адсорбционные) насосы
8.3 Высоковакуумные и сверхвысоковакуумные насосы
8.3.1 Паромасляные насосы
8.3.2 Турбомолекулярный насос
8.3.3 Ионные насосы
8.3.4 Криогенные (адсорбционные) насосы