8.3.2 Турбомолекулярный насос
Турбомолекулярные насосы или турбонасосы, как следует из названия, используют турбины, чтобы откачки газа из микроскопа. Они состоят из множества частей движущихся при высоких скоростях (свыше 20-50 тыс.об/минуту), поэтому они более склонны к выходу из строя, чем диффузионные насосы. Механика насоса очень проста, как увидеть на рисунке на рисунке 8.3. Они не используют масло, и поэтому не вносят углеводороды загрязняющие микроскоп, и лучшие модели (в отличие от более ранних версий) очень тихие и практически без вибраций. Если вы покупаете турбомолекулярный насос, не забудьте указать, что его использование не должно передавать вибрацию на ПЭМ колонну, где она будет снижать разрешение изображения. Турбомолекулярные насосы могут начинать откачку при атмосферном давлении (медленно), и далее увеличивая скорость по мере того как давление снижается, в конечном счете, обеспечивая условия сверхвысокого вакуума при достаточно высоких скоростях. Однако, обычно, турбомолекулярный насос начинает откачивать после предварительной откачки безмасляным механическим насосом.
Рисунок 8.3 Турбомолекулярный насос (в корпусе и без корпуса, разрез), который является ни чем иным как небольшой турбиной, которая вращается с высокой скоростью. Как турбины самолета она втягивает воздух в передней части и выбрасывает его из задней. Лопасти спроектированы имеют аэродинамический профиль для увеличения потока газа через систему
