8.4 Вакуумная система в целом
Как схематически показано на рисунке 8.5 современный ПЭМ имеет по крайней мере две отдельных насосных системы: первая, откачивает колонну, вторая откачивает камеру и пространство вокруг флуорисцентного экрана. Камера качается отдельно, из-за того, что пленка является одной из основных причин ухудшения вакуума, из-за того, что происходит дегазация из эмульсии, которая содержит зерна AgI. Таким образом, эта часть ПЭМ, как правило, откачивает в паре механическим и паромасляным насосами. Предметный столик обычно откачивается отдельным насосом, таким как ионный, турбомолекулярный, крионасосом или комбинацией из этих насосов. Если микроскоп имеет полевую электронную пушку, то пространство пушки откачивают отдельные сверхвысоковакуумные системы, который зачастую состоят из нескольких ионных насосов. Каждая часть вакуумной системы состоит из форвакуумных насосов (механических или турбо), которые откачивают отдельные части микроскопа до определенного вакуума, начиная с которого высоковакуумные насосы могут быть включены.
На рисунке 8.5, есть три клапана, которые в современных микроскопах контролируются компьютером:
# 1 соединяет механический насос и колонну (клапан предварительной откачки).
# 2 соединяет механический насос с нижней частью паромасляного насоса (клапан откачки из диффузионного насоса).
# 3 связывает диффузионный насос непосредственно с колонной ПЭМ (дроссельный клапан).
