9. Микроскоп
В данном разделе будет представлены все основные компоненты ПЭМ такие, как электронная пушка, линзы, детекторы/экраны, и держатели образцов, объединены в микроскоп. Устройство ПЭМ можно разделить на три системы: система освещения, объектив/предметный столик и система проецирования изображения. Система освещения включает в себя электронную пушку и конденсорные линзы, ее роль заключается в том, чтобы взять электроны от источника и передать их на образец. Система освещения может функционировать в двух основных режимах: параллельный пучок и сходящийся пучок. Первый режим используется в основном для получения ПЭМ изображений и дифракции из выделенной области, а второй используется в основном для получения СПЭМ изображений, анализа характеристического рентгеновского излучения, электронной-спектрометрии и дифракции в сходящемся пучке электронов.
Объективная линза и держатель образца/предметный столик являются «сердцем» ПЭМ. Эта наиболее важная область обычно простирается на расстояние не более 10 мм в центре ПЭМ. Здесь происходят все взаимодействия между пучком и образцом, а также происходит формирование изображения объекта и дифракционной картины, которые впоследствии увеличиваются остальными линзами для просмотра и записи. Очевидно, что объективная линза является наиболее важной линзой в ПЭМ, потому что от ее качества зависит качество всей информации получаемой от образца. Из-за различных дефектов, присущих магнитным линзам, образцы должны быть расположены близко к центру объективной линзы и это ограничивает нашу способность манипулировать образцом и получать доступ к различным сигналам. Однако, в настоящее время часть недостатков может быть преодолена путем введения комплекса систем коррекций аберраций в колонну микроскопа.
Системы проецирования изображения используют несколько линз для того, чтобы увеличить изображение объекта или дифракционную картину, производимую объективной линзой и сфокусировать их на флуоресцентном экране или мониторе компьютера через детектор, ПЗС-камеру или телекамеру.
Эти три системы: система освещения, объективная линза и предметный столик, системы проецирования изображения, часто называют «колонной» микроскопа.
В данном разделе будут представлены конкретные операции и процедуры, которые являются достаточно общими для многих микроскопов, таким образом, вы совместно с руководством по эксплуатации вашего собственного ПЭМ, будете в состоянии выполнять все основные процедуры необходимые для получения качественной картинки в ПЭМ.
