9.5 Настройка и стигмирование
9.5.1 Центр вращения линзы
Вам необходимо выполнить всего две настройки (выравнивание вдоль остической оси) для того, чтобы система формирования изображений работала правильно. Безоговорочно наиболее важной является настройка (выравнивание) пучка вдоль центра вращения объективной линзы, а второй является выравнивание дифракционной картины относительно оптической оси линзы. Для того, чтобы получать наилучшее качество информации из вашего ПЭМ, вам необходимо овладеть этими двумя основополагающими настройками.
В принципе, идея выравнивания центра вращения объективной линзы заключается в том, что поле объективной линзы должно быть центросимметричным относительно оптической оси, так, чтобы прямой пучок электронов на выходе из образца встречал симметричное поле при прохождении через линзу. Если поле находится не в центре, то электроны будут двигаться от оси и страдать от аберраций, и ваше изображение будет вращаться вокруг позиции вне оси, при изменении фокусировке объективной линзы, как схематически показано на рисунке 9.20.
Последовательность операций № 7
Для центрирования вращения объектива, необходимо начать с относительно небольших увеличений (около x10.000), выбрать хорошо различимую точку на изображении и переместить ее в центр экрана, и наблюдать за тем, как точка вращается, при колебании объективной линзы от перефокусировки до недофокусировки и обратно (используя воблер). Если точка вращается, не двигаясь от центра, объектив выровнен, и проверить точность выравнивания, можно перейдя на гораздо большие увеличения (> х105).
