9.1 Осветительная система
Осветительная система принимает электроны из электронной пушки и передает их на образец, позволяя получать как широкий луч так и сфокусированный пучок (часто называемый «зондом»). В предыдущих разделах было описано, как в пушке получается изображение источника (так называемый кроссовер). Этот кроссовер выступает в качестве объекта для первой линзы в системе освещения, которая состоит из нескольких конденсорных линз (С1 и т.д.). Мы обсудим два различных режима работы системы освещения: формирование параллельного пучка электронов (хотя они почти никогда по-настоящему не параллельны) и сходящегося пучка (который может быть расходящимся).
