9.1.5 Выравнивание диафрагмы конденсорной линзы (С2)
Инструкции для выравнивания различаются для разных ПЭМ поэтому мы опишем только принципы этой настройки.
Если система освещения правильно выровнена, кроссовер электронной пушки находится на оптической оси линзы и электроны могут двигаться вниз по оптической оси по прямой линии, проходящей через линзы и диафрагмы, пока не попадут на образец. Мы будем считать, что электронная пушка выровнена так, что кроссовер пушки находится на оптической оси колонны. Выравнивание системы освещения раньше было утомительным, ручным делом с участием наклона и перемещения каждой из конденсорных линз, а также центрирования диафрагмы вдоль оси. Сейчас большая часть компонент линз изготавливаются точно настолько, что необходимо лишь незначительный электронный наклон и перемещение и обычно это контролируется компьютером. В этих условиях, центрирования диафрагмы C2 остается самым важным шагом в получении максимальной производительности вашего ПЭМ, особенно, если вы собираетесь работать в режиме сканирования для получения СПЭМ изображений и анализа. Выравнивание C2 диафрагмы остается ручным в большинстве ПЭМ, хотя многие ПЭМ сейчас оснащают диафрагмами с электрическим приводом.
Последовательность операций № 1: Диафрагма C2 должна всегда находиться точно по центру оптической оси ПЭМ. Если диафрагма смещена, изображение пучка на экране перемещаться от оси и искажаться, если вы будете качать ток в С2 линзе (последовательно перефокусировать и недофокусировать C2 линзу), как показано на рисунке 9.7. Для регулировки диафрагмы, так чтобы диафрагма находилась на оси мы должны попеременно фокусировать и расфокусировать C2 линзу. Лучше всего начать с небольшого увеличения, таким образом вы сможете найти изображение диафрагмы затем повторить в том диапазоне увеличений, в котором вы хотите работать:
Первое, перефокусируйте C2 линзу, так, чтобы пучок расширился на экране и изображение диафрагмы C2 стало видно (убедитесь, что любые другие диафрагмы в системе формирования изображения удалены из колонны).
Далее используя внешние ручки центровки диафрагмы переместите диафрагму, так, чтобы ее изображение находилось по центру экрана.
Далее, ослабьте C2 таким образом, чтобы пучок сфокусировался до минимального диаметра.
Далее, переведите пучок в центр путем управления дефлекторами конденсорной линзы.
