НИТУ 'МИСиС' Минобрнауки РФ TOKYO BOEKI База данных по материаловедению. Материалы XXI века
База данных по материаловедению. Материалы XXI века

9.2 Объективная линза и предметный столик

Это сочетание является «сердцем» ПЭМ. Мы используем предметный столик, для фиксирования держателя образца в определенном положении, так чтобы объективная линза могла формировать изображение и дифракционную картину воспроизводимым образом. Существует два различных типа держателей образца, с верхней загрузкой и боковой загрузкой, это определяет геометрию полюсных наконечников и гибкость настройки. Мы будем рассматривать только держатели с боковой загрузкой, так как они являются стандартными, но держатели с верхней загрузкой также требуют z-настройки по высоте образца.

На практике, вы можете обнаружить, что есть необходимость наклонять образец без изменения его высоты на оптической оси. В противном случае, при наклоне, вы будете непрерывно подстраивать высоту образца с помощью Z-контроля. Это означает, что вы должны убедиться, что та область образца, которую вы хотите изучать, расположена, недалеко от оси наклона держателя образца.