9.2 Объективная линза и предметный столик
Последовательность операций № 3 B Еще один способ найти эуцентрическое положение.
Эуцентрическое положение гониометра - механическая точка, расположенная в колонне микроскопа. Как уже упоминалось ранее, оптимальные настройки к/о линзы в СПЭМ/ПЭМ режимах достаточно хорошо определенное и воспроизводимое возбуждение объективной линзы. Это условие в линзе также определяет механическую точку находящуюся где-то между полюсными наконечниками. Нам необходимо совместить эти две точки - эуцентрическое положение и оптимальное положение возбуждения к/о линзы. Чтобы найти эуцентрическую точку, когда эти условия будут соблюдены, вам необходимо:
Установить стандартные (оптимальные) условия работы к/о линзы.
Сфокусировать изображение с помощью Z-контроля (сфокусированное изображение будет иметь наименьший контраст).
Высота образца при этом будет установлена в уэцентическое положение.
Эуцентрическая плоскость также должна быть расположена симметрично по отношению к полю верхнего и нижнего полюсных наконечников объективной линзы. В этих условиях, эуцентрическая плоскость совпадает с плоскостью, на которую проэцируется пучок электронов, как в ПЭМ, так и в СПЭМ режиме. Если плоскость симметрии и эуцентрическая плоскость не совпадают, то изображения и дифракционная картина, будут появятся при различных увеличениях и различных настройках фокуса в ПЭМ и СПЭМ.
Обеспечение совпадения эуцентрической плоскости и плоскости симметрии, как правило, осуществляется производителем микроскопа. Вы можете проверить это, сравнивая фокус для дифракционной картины или изображения в ПЭМ и СПЭМ режимах. При переходе от одного режима к другому фокусировка объективной линзы не должна меняться как на изображении, так и на дифракционной картине.
