4. Неупругое рассеяние и повреждения, наносимые пучком
В предыдущем разделе обсуждались упругие процессы рассеяния, т.е. рассеяние без потери энергии при прохождении образца. Неупругое рассеяние (часто называется потерей энергии) электронов также важно, и мы будем обсуждать эти процессы. Почему мы заинтересованы в этом рассеянии? Такое рассеяние порождает целый ряд сигналов, каждый из которых может рассказать о химическом составе образца больше, чем мы можем узнать из упругого рассеяния электронов. В дополнение к собственным потерям энергии электронов, наиболее важными сигналами в ПЭМ являются, характеристические рентгеновские лучи, вторичные электроны, и, иногда, видимый свет (катодолюминесценция (CL)), и поэтому мы будем обсуждать, как они возникают. Очевидно, есть много полезной информации в этих сигналах, и это является одним из основных преимуществ использования ионизирующего излучения. Однако другой стороной медали является то, что все неупругие процессы привносят энергию в образец, которые могут повреждаться, если материал чувствителен к пучку. Таким образом, мы также должны взглянуть на обратную сторону неупругих процессов, и мы закончим, обсуждая эту проблему под общей темой повреждения вносимые пучком или радиационные повреждения.
Основное, что вы должны вынести из этого текста является понимание того, что современная ПЭМ это в первую очередь инструмент, генерирующий и собирающий большое количество сигналов и соответственно информации, а не просто инструмент для получения изображений с большим увеличением.
Один плюсом является то, что во всех этих процессах мы можем рассматривать электрон как частицу.
