4.6 Повреждения, наносимые электронным пучком
Страница 1 из 2
Неупругие столкновения, которые дают нам все полезные сигналы, несут так же негативные «побочные» эффекты - электронно-лучевые повреждения. Повреждения, который влияют на структуру и или химический состав образца, зависят, в той или иной форме, от энергии падающего излучения.
Рисунок 4.10 Иллюстрация кристаллической решетки, как группы атомов, связанных упругой пружиной. Связанные ионы вибрируют при столкновении с выокоэнергетичным электроном, создания тем самым колебания решетки или фононы, эти колебания эквивалентны нагреву образца.
