НИТУ 'МИСиС' Минобрнауки РФ TOKYO BOEKI База данных по материаловедению. Материалы XXI века
База данных по материаловедению. Материалы XXI века

9.5 Настройка и стигмирование

Данные метод коррекции астигматизма является подходящим при увеличениях до нескольких сотен тысяч раз.

На практике, если вы работаете при таких высоких увеличениях, вам, вероятно, придется проверить астигматизм вашей системы на протяжении все сессии, так что вам необходимо привыкнуть к изображению полос Френеля на тонких, изогнутых краях вашего образца, а не на идеальной «дырявой» углеродной пленке. Для изображений с высоким разрешением при увеличениях более х300,000, необходимо использовать полосы на изображении для коррекции астигматизма.

Астигматизм промежуточных линз имеет второстепенное значение и влияет только на дифракционную картину. Поскольку дифракционная картина появляется в задней фокальной плоскости объективной линзы при нулевом увеличении, промежуточная линза несут ответственность за ее увеличение на экране. Так что если остаточный астигматизм присутствует в промежуточных линзах, то на дифракционной картине должны появляться ортогональные искажения при переходе через фокус. Этот эффект мал и может быть увиден только в бинокуляры, при фокусировке дифракционной картины с помощью управления промежуточной линзой. Для корректировки астигматизма промежуточной линзы необходимо освещать поверхность образца широким пучком, чтобы дать наиболее острые дифракционные пики. Далее необходимо, как и в случае с о стигматорами объективной линзы, настроить стигматоры промежуточной линзы, таким образом, чтобы скомпенсировать любые искажения при перефокусировке, и недофокусировке, пока дифракционные пятна не станут расширяться и сжиматься равномерно во всех направлениях при переходе через фокус.