8.4 Вакуумная система в целом
Если вы откачиваете от атмосферного давления, необходимо сначала использовать механический насос, чтобы откачать паромасляный насос до давления, начиная с которого мы можем безопасно запустить его, т.е. включить его нагреватель без окисления. Необходимо закрыть клапан # 1, открыть # 2, и закрыть # 3.
Когда диффузионный насос разогревается, можно осуществить предварительную откачку воздуха из колонны: открыть # 1, закрыть # 2 и # 3, пока колонна не будет откачана до достаточно низкого давления, при котором диффузионный насос может быть использован.
В этот момент, необходимо закрыть клапан # 1, и открыть клапана # 2, а затем # 3, таким образом паромасляный насос будет откачивать из колонны ПЭМ и непрерывно откачиваться механическим насосом. Хорошим решение является включение вакуумного резервуара между механическим и паромасляным насосами. Когда резервуар откачан до давления <0.1 Па, механический насос закрывается и паромасляный насос выпускает откачанный воздух в резервуар. Когда давление в резервуаре повышается, механический насос автоматически включается и понижает его.
Аналогичные механизмы работают и для других насосов, например, паромасляный насос может быть использован для снижения давления около предметного столика или в пространстве электронной пушки, перед включением ионного насоса. В большинстве ПЭМ, вакуум около предметного столика и пушки значительно лучше, чем вакуум в камере с флуоресцентным экраном, поэтому камера/экран изолирован от остальной части колонны диафрагмой дифференциальной откачки (не показана на рис. 8.5).
