Сравнение эффективности ЭДС и ВДС спектрометров: геометрическая эффективность, количественная эффективность, разрешение, скорость счета, величина тока зонда, скорость анализа.
|
Характеристика |
WDS |
EDS |
|
Геометрическая эффективность сбора |
Низкая, типичный угол приема 0.001 стерадиан |
Высокая – типичный угол 0.005–0.1 стерадиан, детектор может быть подведен вплотную к образцу |
|
Ток зонда |
Высокий, минимум 10–8A, низкая квантовая эффективность |
Низкий, менее 10–10A |
|
Разрешение по энергии |
Хорошее, зависит от кристалла , примерно 5–10 эВ |
Зависит от энергии <133эВ на Mn Ka(5.9 кэВ) |
|
Ограничения по концентрации |
<0.01%. В зависимости от матрицы |
Типичное 0.1– 0.5% |
|
Скорость анализа |
Низкая – только один элемент в момент времени одним кристаллом, серийная съемка |
Быстрая, все элементы анализируются одновременно, параллельная съемка |
|
Сложность количественного анализа |
Простое измерение как разница пиков и фона |
Сложное, необходимо устранение наложения пиков и аппроксимации и вычитания фона |
