Страница 3 из 4
Взаимодействие падающих электронов с образцом
Кванты либо фотоны рентгеновского излучения формируются пучком электронов в области падения пучка и взаимодействия с образцом под его поверхностью (рисунок 2), наряду с другими типами сигналов – отраженными электронами, вторичными, прошедшими.
Рисунок 2 – «Груша» взаимодействия падающих электронов с образцом
