Цель работы: познакомиться с основными методами обслуживания растрового электронного микроскопа, освоить замену катода и чистку цилиндра Венельта, научиться юстировать электроннооптическую систему микроскопа.
Теоретический материал
Замена катода и чистка цилиндра Венельта
Если катод сгорел во время работы и Вам необходимо заменить его срочно, перед заменой катода необходимо дать ему остыть в течение часа.
Во вкладке обслуживание (Maintenance ) выбрать Замена катода (Filament Exchange ) (рисунок 1)
Рисунок 1 – Вкладка обслуживание панели управления микроскопом
В пошаговом меню выбрать п.1 - Напуск воздуха в пушку (Vent the electron gun )
Снять верх колонны микроскопа, освободив доступ к электронной пушке (рисунок 2)
Открыть электронную пушку, извлечь Венельт с помощью устройства извлечения Венельта (рисунок 3)
Закрыть электронную пушку. Разобрать Венельт, почистить, собрать (рисунок 4). Проверить катод. Состояние катода может быть различным (рисунок 5). При работе с катодом на внутренней стороне цилиндра Венельта оседают мелкие частицы сгоревшего W , образуя слой коричневого или синего цвета. От этого слоя необходимо избавиться при помощи чистящих паст. Промывать следует этиловым спиртом или эфиром. После чистки цилиндр Венельта центровку катода относительно цилиндра Венельта контролировать с помощью оптического микроскопа.
