Страница 3 из 5
Рисунок 3 – Ионное напыление в низком вакууме
Для получения покрытия оптимальной толщины при работе на
приборе магнетронного типа (рисунок 4) используются номограммы, приведенные на
рисунке 5.
Рисунок 4 – Устройство напыления магнетронного типа производства компании JEOL
Рисунок 5 – Номограммы определения толщины покрытия для различных типов мишеней
