Навигатор Point & ID
Включает в себя следующие этапы: описание образца, сканирование изображения, накопление спектра, проверка элементов.
Описание образца - На этом шаге можно описать характеристики образца, в том числе и наличие проводящего покрытия (рисунок 68).
Сканирование изображения - Перед накоплением спектров в навигаторе Point & ID требуется вначале получить электронное изображение, т.к. этот навигатор построен вокруг изображения. На этапе Сканирования Изображения осуществляется накопление электронного Изображения (рисунок 69).
Накопление спектра и проверка элементов - На этом этапе получают спектры от текущего электронного изображения в отраженных либо вторичных электронах, проверяют правильность результатов автоматической идентификации элементов в спектре. После подтверждения эти элементы используются при составлении списка подтверждённых элементов для выполнения качественного и количественного анализа (рисунок 70).
Расчёт состава - На этом этапе можно просмотреть более подробные результаты количественного анализа (рисунок 71).
