Список контрольных вопросов
Страница 9 из 17
6. Рабочий вакуум для вольфрамового катода:
0.01 Па;
0.0001Па;
0.00000001 Па.
7. Рабочая температура вольфрамового катода:
комнатная;
1800К;
2800К.
8. Стабильность по току вольфрамового катода
0.5 %;
1%;
5%;
10%.
9. Размер кроссовера для вольфрамового катода:
20 мкм;
10 мкм;
10 нм.
10. Назначение электромагнитных линз в РЭМ:
уменьшение диаметра пучка электронов:
фокусировку пучка электронов;
перенос изображения в другую плоскость;
разворот изображения на 180 градусов.
11. Аберрации электромагнитных линз зависят от:
интенсивности пучка;
стабильности ускоряющего напряжения;
неоднородности магнитного поля линзы;
качества поверхности образца.
