Страница 2 из 9
Введение в спектроскопию с дисперсией по энергии (ЭДС, EDS, EDX)
Химический анализ в РЭМ проводится путем измерения энергии и интенсивности р.и., генерируемого при бомбардировке образца сфокусированным ионным пучком.
В 1968 году Фитцджеральдом с соавторами впервые описано использование твердотельного детектора р.и. в РЭМ. Их система едва могла разрешать соседние элементы , но при этом она показала саму возможность проведения микрозондового исследования в РЭМ. На сегодняшний день эта методика широко распространена в РЭМ и ПЭМ, спектральное разрешение улучшилось с 500эВ до 125эВ.
Методику ЭДС (энергодисперсионную методику анализа) часто используют в комбинации со спектрометрией по длинам волн для повышения точности анализа.
