Введение в спектроскопию с дисперсией по длинам волн (WDS, ВДС)
До 1968 года рентгеноспектральные измерения проводились с помощью спектрометра с дисперсией по длинам волн, основные элементы которого приведены на рисунке 40.
ВДС–спектрометр (рисунок 41) устанавливается в соответствующий порт камеры образцов РЭМ горизонтально, вертикально или под углом 35 градусов. В зависимости от способа установки достигается та или иная свобода передвижения образца в камере.
Небольшая часть р.и., генерируемого образцом, выходит из электронно–оптической камеры, падает на поверхность кристалл – анализатора, дифрагирует в соответствии с законом Брэгга:
nλ= 2d sinΘ,
где n– целое число, λ – длина волн р.и., d – межплоскостное расстояние в кристалле, Θ – угол падения р.и. в кристалл (рисунок 42) и регистрируется пропорциональным счетчиком.
Рисунок 40 – Схема системы с кристалл – дифракционным спектрометром c компонентами: кристалл, пропорциональный счетчик, предусилитель, усилитель, анализатор, ЭВМ
Сигнал с детектора усиливается, преобразуется в импульс, измеряется в одноканальном анализаторе. Энергия фото может быть вычислена исходя из длины волны по уравнению
E = 12.396 / λ
где E энергия в кэВ, λ– длина волны в Ангстремах (1Å = 10–10 m).
Рисунок 41 – Модель волнового спектрометра
Рисунок 42 – Схема дифракции р.и. по закону Брэгга
