Рисунок 1. Сканирование сходящимся зондом для формирования СПЭМ изображения с помощью двух пар отклоняющих катушек между второй конденсорной линзой (обычно выключеной) и верхним полюсным наконечником объективной линзы. Система двойного отклонения обеспечиваетпараллельность зонда оптической оси, во время процесса сканирования по поверхности образца.