Лабораторная работа №5. Получение STEM изображения, коррекция астигматизма. Получение светлопольного и темнопольного изображения в STEM режиме
Одно, потенциально наибольшее преимущество для СПЭМ является то, что, как и в СЭМ, мы не используем линзы для формирования изображения. Таким образом, дефекты в линзах, ответственных за формирование изображения,. не влияют на разрешение изображения, которое ограничивается только размером пучка. Хроматические аберрации, которые могут серьезно ограничить разрешение ПЭМ изображения, отсутствуют в СПЭМ изображениях. Это большое преимущество, если вы имеете дело с толстыми образцами.
Рисунок 2. Получение стационарных (в сходящемся пучке) дифракционных картин в задней фокальной плоскости объективной линзы является необходимым условием для формирования СПЭМ изображений. Обратите внимание, что электроны, рассеянные на один и тот же угол (2θ) в различных точках образца фокусируются в одной точке в задней фокальной плоскости.
