Лабораторная работа №5. Получение STEM изображения, коррекция астигматизма. Получение светлопольного и темнопольного изображения в STEM режиме
Рисунок 3. Принцип формирования растрового изображения, показывающий, теже самые катушки сканирования в микроскопе управляют (A) пучком сканирующим образец и (B) лучом сканирующим на экране дисплея компьютера в СПЭМ. Таким образом, для формирования изображений в СПЭМ нет необходимости в каких либо линзах.
Темнопольный СПЭМ изображения
Подход при получении темнопольных СПЭМ изображений аналогичен обычному ПЭМ. Мы формируем темнопольное изображение, используя любые или все из рассеянных электронов, а не электроны прямого пучка. Необходимо помнить, что в ПЭМ мы наклоняем падающий пучок, таким образом, чтобы рассеянные электроны, из которых мы хотим сформировать изображение, двигались по оптической оси и попадали в апертурную диафрагму объективной линзы. В СПЭМ, мы делаем это несколько иначе. Это сделать с помощью наклона и центрирования дифракционной картины или также можно перемещать диафрагму C2. Первое предпочтительнее, так как смещение диафрагмы уводит пучок с оптической оси и разюстирует систему освещения.
