Лекция 5. Интерфейс пользователя РЭМ
Панель управления вакуумом (рисунок 66) включает в себя следующие элементы:
Кнопка Вытягивание (Draw Out) – кнопка переключения контроля откачки при вытягивании
Кнопка Шлюз (Airlock) – кнопка переключения контроля откачки в шлюзовой камере
Дисплей статуса вакуума – отображается состояние вакуума в камере образцов
Кнопка Напуск воздуха в камере образцов (VENT) : в процессе напуска кнопка мигает, по окончании – горит оранжевым
Кнопка Откачка (EVAC) – в процессе откачки камеры образцов мигает, при достижении рабочего вакуума горит зеленым цветом
Режимы вакуума: Высокий вакуум (High Vacuum) и Низкий вакуум (Low Vacuum)
Кнопки Вверх (Up) и Вниз (Down) увеличения или уменьшения давления в камере образцов
Область выбора нужного давления в режиме низкого вакуума: 10-270 Па. Кнопки Старт-Стоп – кнопки начала и остановки откачки до нужного давления.
