Лекция 4. Сканирование образца электронным пучком и формирование изображения
Страница 1 из 5
Структура лекции
Сканирование электронным пучком.
Сканирование вдоль линии.
Сканирование по площади.
Увеличение в РЭМ.
Контраст. Механизмы и природа формирования контрастов.
Топографический контраст.
Контраст от атомного номера.
Сканирование электронным пучком.
Пучок электронов пробегает исследуемую область на образце (растр) точка за точкой, линия за линией (рисунок 49). Положение пучка электронов на образце и точки на экране монитора (величины сигнала с соответствующего детектора) синхронизовано, т.е. каждой точке образца соответствует определенная точка на экране монитора.
Рисунок 49 – Сканирование электронным зондом заданной области образца
