Лекция 4. Сканирование образца электронным пучком и формирование изображения
Страница 2 из 5
Сканирование вдоль линии
При сканировании вдоль строки пучок движется вдоль одной из линий на образце. На экране положение по оси Х соответствует расстоянию вдоль определенной линии на образце, а по оси Y - интенсивности сигнала с какого либо детектора (рисунок 50).
Рисунок 50 – Сканирование пучком электронов вдоль строки и результаты величины сигнала вдоль этой линии
Сканирование по площади
При сканировании по площади пучок сканирует образец по двумерному X-Y растру (рисунок 51). Для отображения информации о взаимодействии электронов с объектом используется яркостная модуляция интенсивности сигнала на экране электронного микроскопа (более 16 градаций серого).
Рисунок 51 - Сканирование пучком электронов по площади и результаты величины сигнала в оттенках серого для каждой точки анализа на экране монитора
