НИТУ 'МИСиС' Минобрнауки РФ TOKYO BOEKI База данных по материаловедению. Материалы XXI века
База данных по материаловедению. Материалы XXI века

Лекция 4. Сканирование образца электронным пучком и формирование изображения

Контраст от атомного номера

Второй тип контраста, наблюдаемый в РЭМ - контраст от атомного номера. Число отраженных электронов растет с увеличением атомного номера элемента. Следовательно, области с высоким атомным номером будет выглядеть яркими по отношению к областям с низким атомным номером. Чем больше разница в атомных номерах, тем выше контраст в отраженных электронах (рисунок 55).

Рисунок 54 – Топографический контраст во вторичных электронах и краевые эффекты, увеличивающие вторичную эмиссию

Рисунок 55 - Электронное изображение в режиме контраста от атомного номера