Лекция 4. Сканирование образца электронным пучком и формирование изображения
Увеличение в РЭМ
Увеличение в РЭМ равно отношению размера изображения на экране к размеру растра на образце в данный момент времени (рисунок 52). Увеличение контролируется сканирующими катушками (scan coils). Когда оператор решает поднять увеличение, он уменьшает силу тока в обмотках сканирующих катушек, электронный пучок при этом пробегает меньшую дистанцию по поверхности образца. Важно, что эта дистанция зависит от рабочего расстояния (WD) – расстояния от объективной линзы до образца. В современных микроскопах этот факт учитывается и компенсируется. Минимальное увеличение определяется рабочим расстоянием объективной линзы – х10. Максимальное – ограничивается разрешающей способностью микроскопа (диаметром пучка электронов и областью взаимодействия пучка с образцом) – до х1 000 000. Увеличение в РЭМ зависит только от тока отклоняющих катушек
Контраст. Механизмы и природа формирования контрастов.
Контраст С=(Sмакс-Sмин)/Sмакс – отношение разности максимальной и минимальной интенсивности к максимальной для любых двух точек растра. Хотя есть много различных определений контраста – суть одна - разница в яркости различных участков изображения.
Контраст несет в себе информацию о сигнале, связанную со свойствами образца, которые мы хотим определить.
Существует 2 основных механизма формирования контраста: контраст, зависящий от атомного номера (или контраст от состава) и топографический контраст.
