Лекция 5. Интерфейс пользователя РЭМ
Вкладка Tools включает в себя следующие функции:
функция Запирание пучка (BeamBlank) позволяет прерывать подачу пучка на образец, предотвращая его повреждение. В режиме статического изображения запирание пучка происходит автоматически, при переходе в режим живого изображения – автоматически отключается.
функция Осциллятор объективной линзы (OL Wobbler) используется для центровки апертуры объективной линзы. При ее включении изображение периодически перемещается относительно фокуса. При плохой центровке апертуры объективной линзы изображение объекта будет покачиваться из стороны в сторону – осциллировать. Оптимальная центровка апертуры – минимальная амплитуда колебания изображения
функция Восстановление линзы (Lens Reset) состоит в сбросе настроек (восстановлении) линзы к исходным заводским. Позволяет устранить отставание линзы и производить наблюдение в лучших условиях.
функция Сброс компенсации астигматизма (Stigma Reset) позволяет восстановливать заводские настройки астигматизма
функция Индикатор автофокуса (Auto Focus Tracer) приводит к изменению фокуса при перемещении образца по оси Z
функция Измерение (Measure) позволяет проводить различные измерения на статическом изображении объекта (рисунок 57)
