В таблице приведен выбор материала покрытия в зависимости от цели исследования.
Таблица – Выбор материала покрытия
Цель исследования |
Материал покрытия |
Наблюдение во вторичных электронах |
Au, Pt, Au-Pd |
Наблюдение в отраженных электронах |
C |
Элементный анализ |
C, Al, Au |
В данной работе предлагается использовать напыление металла для исследования морфологии биологических объектов в режиме высокого вакуума.
Метод ионного напыления в низком вакууме используется для получения проводящих слоев из благородных металлов на образцах для РЭМ (рисунок). С помощью форвакуумного насоса откачивается воздух до давления 10 Па. На мишень подается высокое напряжение, в камере начинается газоразрядный процесс и мишень из металлической фольги бомбардируется атомами воздуха или аргона, которые выбивают из нее атомы металла. Эти атомы осаждаются на поверхности образца и образуют слой металла, толщина которого определяется током разряда и временем напыления. Для подавления разогрева образца ( при бомбардировке их электронами) катод и анод располагают коаксиально, над которыми располагают также коаксиально магнит (устройство магнетронного типа).
Рисунок – Ионное напыление в низком вакууме
