Программа курса по РЭМ
Страница 2 из 5
4. Содержание учебной дисциплины
4.1. Разделы дисциплины и виды занятий
|
№ |
Раздел дисциплины |
Лекции |
Семинары |
СР |
|
1 |
Общая информация о растровой электронной микроскопии (РЭМ) |
7 |
1 |
10 |
|
2 |
Интерфейс пользователя микроскопа и получение изображений исследуемых объектов |
2 |
6 |
10 |
|
3 |
Использование РЭМ для исследования различных материалов |
3 |
5 |
2 |
|
4 |
Рентгеноспектральный анализ (РСА) в РЭМ |
4 |
4 |
4 |
|
5 |
Обслуживание растрового электронного микроскопа/работа с образцами заказчика |
2 |
6 |
2 |
|
6 |
Экзамен |
4 |
|
|
4.2. Содержание лекционного курса ( 18 часов)
Раздел 1. Общая информация о растровой электронной микроскопии (РЭМ) (7 часов)
1.1. Введение электронную микроскопию. История развития. Взаимодействия электронов с веществом. Рассеяние электронов. Область взаимодействия электронов: влияние атомного номера, зависимость от энергии пучка, зависимость от угла наклона. Длина пробега электронов. Упругое рассеяние электронов. Отраженные электроны: влияние атомного номера, зависимость от энергии пучка, зависимость от угла наклона, угловое распределение, распределение по энергиям, пространственное распределение, глубина выхода. Неупругое рассеяние электронов. Вторичные электроны: влияние параметров пучка и образца. Рентгеновское излучение. Непрерывное рентгеновское излучение. Характеристическое рентгеновское излучение. Оже- электроны. Катодолюминесценция.
1.2. Колонна электронного микроскопа. Электронная пушка. Термоэлектронная эмиссия. Автоэлектронная эмиссия. Катоды. Электромагнитные линзы: конденсорная линза, объективная линза. Хроматические аберрации. Сферические аберрации. Астигматизм. Стигматоры. Диафрагмы. Электронный зонд. Генераторы развертки. Детекторы излучений. Приставки для сканирующего электронного микроскопа. Вакуумные системы. Камеры образцов. Шлюзование. Низковакуумная сканирующая электронная микроскопия.
1.3 Сканирование электронным пучком. Сканирование вдоль линии. Сканирование по площади. Контраст. Механизмы и природа формирования контрастов. Интерпретация изображений. Детекторы сигналов, их характеристики и влияние на формирование контрастов. Угол детектора по отношению к поверхности объекта. Телесный угол детектора. Эффективность преобразования детектора. Наблюдение и сохранение изображений в растровом микроскопе JSM 6610LV. Выбор типа сигналов.
1.4. Пакеты специального программного обеспечения в серийно выпускаемых сканирующих электронных микроскопах и их основные возможности (на примере ПО для JSM 6610LV).
