НИТУ 'МИСиС' Минобрнауки РФ TOKYO BOEKI База данных по материаловедению. Материалы XXI века
База данных по материаловедению. Материалы XXI века

Программа курса по РЭМ

Раздел 5. Обслуживание растрового электронного микроскопа (2 часа)

5.1. Профилактичекие и регламентные работы.

5.2. Повседневный уход: юстировка пушки. Настройка апертурной диафрагмы, коррекция астигматизма.

5.3. Обслуживание: замена катода и чистка Венельта, замена масла, замена диафрагмы объективной линзы.

4.3. Перечень тем практических занятий (22 часа)

Наименование

Кол-во часов

1

Структура микроскопа JSM 6610LV. Запуск и остановка прибора. Установка и смена образца. Действия в чрезвычайных обстоятельствах.

1

2

Описание пользовательского интерфейса микроскопа: структура программы, окна и меню, возможности и функции

2

3

Настройка параметров изображения: выбор типа сигналов, величины ускоряющего напряжения, размера пятна, настройка яркости и контрастности, фокусировка, выбор частоты сканирования, увеличение изображения. Перемещение поля зрения: перемещение по горизонтальным осям, перемещение в центр изображения, перемещение перетаскиванием, перемещение в вертикальной плоскости, вращение, наклон.

2

4-5

Работа с образцом. Настройка яркости-контраста, фокуса-астигматизма.

2

6

Изучение металлических материалов и сплавов. Изучение порошков, углеродных нанотрубок, пористых объектов. Исследование изломов.

1

7

Работа в режиме низкого вакуума.

1

8-9

Подбор оптимальных параметров работы. Обработка результатов исследований.

3

10

Программное обеспечение INCA x-act для РСА

1

11-12

Анализ в точке, картирование, квантовая оптимизация.

3

13

Обслуживание микроскопа JSM 6610LV/работа с образцами заказчика. Предотвращение аварийных ситуаций.

6