Программа курса по РЭМ
Раздел 2. Интерфейс пользователя микроскопа и получение изображений исследуемых объектов (2 часа)
2.1. Описание пользовательского интерфейса: структура основного окна, строка меню, область иконок, область изображения (стандартное живое изображение, двойное изображение, двойное живое изображение, разделенное живое изображение, режим «гибкое окно», смешанное изображение), операционная панель (управление учетными записями, установка образца, рецепты, наблюдение).
2.2. Настройка параметров изображения: выбор типа сигналов, величины ускоряющего напряжения, размера пятна, настройка яркости и контрастности, фокусировка, выбор частоты сканирования, увеличение изображения. Перемещение поля зрения: перемещение по горизонтальным осям, перемещение в центр изображения, перемещение перетаскиванием, перемещение в вертикальной плоскости, вращение, наклон.
Раздел 3. Использование РЭМ для исследования различных материалов (3 часа)
3.1. Особенности работы с образцами из различных материалов. Преимущества и недостатки растровой электронной микроскопии в сравнении с другими методами исследования. Изучение металлических материалов и сплавов. Изучение порошков, углеродных нанотрубок, пористых объектов. Одновременное наблюдение мельчайших объектов, сильно отличающихся по размерам. Фрактографические исследования – информация о строении излома.
3.2. Пробоподготовка, нанесение покрытий, дегазация.
3.3. Работа в режиме низкого вакуума. Особенности работы с различными агрегатными состояниями исследуемых материалов. Изучение биологических объектов.
3.4. Выбор оптимальных параметров работы: влияние ускоряющего напряжения, влияние размера пятна, влияние покрытий, влияние рабочего расстояния, влияние размера апертуры, влияние наклона образца.
3.5 Специализированные пакеты для обработки результатов исследований в растровых электронных микроскопах и их основные возможности. Автоматизированная обработка изображений, включающая оценку дисперсности среднего размера, протяженности границ, формы и других параметров структуры материалов
Раздел 4. Рентгеноспектральный анализ в растровой электронной микроскопии (4 часа)
4.1. Генерация рентгеновского излучения. Понятие микрорентгеноспектрального анализа (или рентгеновского микроанализа). Спектрометрия с волновой дисперсией. Устройство рентгеновского спектрометра с волновой дисперсией. Спектрометрия с энергетической дисперсией. Устройство рентгеновского спектрометра с энергетической дисперсией.
4.2. Программное обеспечение рентгеноспектрального анализа. Пакеты специального программного обеспечения в серийно выпускаемых приставках ЭДС для микроскопов и их основные возможности (на примере INCA Energy и приставки X – MAX производителя Oxford Instruments ).
4.3. Анализ химического состава в точке, картирование, количественная оптимизация.
