Лабораторная работа № 1. Знакомство с растровым электронным микроскопом
Рисунок 1 – Составляющие РЭМ JEOL 6610
Электронно-оптическая колонна включает в себя электромагнитную пушку и две или более электромагнитные линзы, которые формируют пучок и определяют путь движения электронов вдоль колонны до образца. Вся колонная находится под высоким вакуумом (от 10-4 Па и выше, в зависимости от конструкции) для предотвращения рассеивания электронов в сформированном пучке. Типичная схема электронно-оптической колонны РЭМ приведена на рис 2.
В лабораторной работе используется компактный многоцелевой РЭМ JEOL 6610LV с предельной простотой управления и высоким качеством оптики. Микроскоп обладает полностью автоматизированной электронной пушкой с W или LaB6 катодами. Благодаря уникальной конденсорной линзе с переменным фокусным расстоянием, разработанной фирмой JEOL, фокусировка и положение поля зрения даже на очень больших увеличениях поддерживаются неизменным.
