Лабораторная работа № 1. Знакомство с растровым электронным микроскопом
Особенности РЭМ 6610LV:
Возможность изучения различных объектов в различных типах сигналов (отраженные электроны, вторичные электроны) с увеличением от х5 до х100 000 и пространственным разрешением до 3 нм ;
Работа при ускоряющих напряжениях от 0,3 кВ до 30 кВ;
Анализ непроводящих объектов в режиме низкого вакуума;
Размеры исследуемых образцов до 75 мм в диаметре и до 80 мм высотой, столик – моторизованный эвцентрический;
ЗАПУСК И ОСТАНОВКА ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА
Запуск устройства
Установить переключатель в распределительном щитке в положение ON.
Включить подачу охлаждающей жидкости (включение кулера).
Установить ключевой переключатель MAIN POWER на главной панели управления в положение ON. Вставить ключ, повернуть его в положение START. Убрать руки. Ключ вернется в положение ON (рис. 3).
Рисунок 3 – Главная панель управления РЭМ
Через 10 сек включить питание периферийных устройств.
Включить компьютер.
На рабочем столе Windows выбрать программу JEOL SEM.
Войти под необходимым именем пользователя в систему.
Примерно через 20 минут можно начать наблюдение изображения.
