Лабораторная работа № 1. Знакомство с растровым электронным микроскопом
Установка образца
Подготовить образец.
Поместить образец на подставку для образцов. Во избежание зарядки образца использовать соответствующее проводящее покрытие.
Выбрать держатель и поместить на него подставки с образцами. Предпочтительно, чтобы поверхность изучения образца не выступала за поверхность держателя. В случае, если она будет выступать, указать степень такого выступания в панели управления столиком.
Установить держатель с образцами на рычаг в шлюзе (рис. 4).
Закрыть шлюз.
Нажать кнопку ALC-EVAC для откачки шлюза. При этом она начнет мигать и по достижении необходимого вакуума (примерно 50 сек) зеленым.
Открыть вентиль шлюза (OPEN). Опустить рычаг в горизонтальное положение (позиция HOLD), до упора вдвинуть его вместе с держателем и образцом в камеру образцов, установив таким образом образец с держателем на моторизованный столик.
Повернуть рычаг в позицию RELEASE и полностью вытащить рычаг, установив его в вертикальное положение. Закрыть вентиль шлюза.
Извлечение образца
Выключить пучок, нажав на иконку HT в программе управления микроскопа;
Выбрать AIRLOCK в панели управления и нажать кнопку Removing the Specimen;
Опустить рычаг в горизонтальное положение (позиция RELEASE);
Нажать кнопку ALC-EVAC для откачки шлюза. В этот момент столик переместится в положение извлечения держателя с образцом;
После окончания мигания ALC-EVAC открыть вентиль шлюза;
До упора вдвинуть рычаг внутрь камеры образцов, повернуть его в позицию HOLD, захватив таким образом держатель с образцом;
Вытащить рычаг с держателем из камеры образцов. Закрыть вентиль шлюза. В шлюз будет напущен воздух;
Повернуть рычаг в позицию RELEASE, установить его в вертикальное положение.
Открыть шлюз. Забрать держатель с образцом.
Наблюдение образца
Включение пучка - нажатием кнопки HT;
Выбор параметров наблюдения: тип сигнала, ускоряющее напряжение, размер пятна, увеличение;
Настройка параметров изображения (настройка фокуса, яркости, контраста, астигматизма).
